Microfluorescência de raios-X Qualana
Espectrómetro de microfluorescência de raios X (micro-XRF) para dados precisos e fiáveis. O Qualana, da Rigaku, reduz a incerteza na análise de microáreas ao localizar com precisão o ponto de medição pretendido e associar a informação de posição aos resultados analíticos.
Esta abordagem reduz a necessidade de repetir medições ou de recorrer a outras técnicas para verificações adicionais, permitindo identificar mais rapidamente a causa dos problemas e tomar decisões com maior confiança.
Análise precisa da microárea selecionada
Na análise elementar de microáreas, um pequeno desvio entre o ponto observado e o ponto irradiado por raios-X pode afetar as conclusões. Nos sistemas convencionais, as diferenças entre o ângulo de observação ótica e o feixe de raios X podem deslocar o ponto de análise quando a altura da amostra varia.
O sistema ótico proprietário Vertical3-Axis Targeting alinha a câmara de baixa ampliação, a câmara de alta ampliação e a fonte de raios-X no mesmo eixo vertical. Em conjunto com o controlo de elevada precisão da mesa de posicionamento, permite posicionar com rigor o local observado no ponto de incidência dos raios-X.
Deste modo, minimiza a diferença entre a área selecionada e a área efetivamente analisada, reduzindo erros de interpretação e a necessidade de realinhamento.
Do mapeamento de grandes áreas à análise pontual
A função Spot Focus Control permite selecionar a dimensão do ponto de análise entre 20, 50, 100, 150 e 200 μm, combinando o mapeamento de grandes áreas com a análise pontual detalhada num único equipamento. A análise quantitativa pelo método dos parâmetros fundamentais (FP) está disponível para todas estas dimensões, proporcionando resultados fiáveis em diversas aplicações.
O Qualana acomoda amostras até 220 mm de largura × 220 mm de profundidade × 120 mm de altura e realiza o mapeamento completo em XY de uma área até 200 × 200 mm, equivalente a uma bolacha semicondutora (wafer) de 8 polegadas, sem reposicionar a amostra.
O ajuste automático da altura e os sensores anticolisão permitem medições estáveis, mesmo em amostras de altura elevada.
Análise de filmes finos sem padrões de referência
O Qualana integra a tecnologia de parâmetros fundamentais (FP) da Rigaku, desenvolvida com base em mais de 50 anos de experiência em XRF. A biblioteca de sensibilidade integrada, essencial para a análise quantitativa, permite avaliar a espessura e a composição de filmes finos sem necessidade de padrões de referência.
A análise é realizada diretamente no local observado, sem danificar a amostra, permitindo uma avaliação eficiente de filmes finos em investigação, desenvolvimento e análise de falhas.
Software intuitivo, pronto a utilizar e com um fluxo de trabalho rastreável
Concebido para facilitar a aprendizagem dos operadores, o software organiza o processo num único fluxo de trabalho simplificado, composto por quatro etapas: colocação da amostra, aquisição de imagens, definição dos parâmetros e medição.
Permite começar pelo mapeamento de uma área alargada para obter uma visão global e analisar depois, em detalhe, apenas os locais necessários. Esta abordagem reduz o tempo de medição e o risco de não detetar características importantes, para ajudar na obtenção dos dados necessários à tomada de decisão.
Os resultados do mapeamento e os dados das análises pontuais subsequentes ficam associados e guardados em conjunto. Assim, é possível rever quais os resultados que motivaram medições adicionais e porquê, facilitando a explicação e a verificação dos dados.
