Tube furnace with eight zones ‑ AZ
O AZ é um forno tubular de oito zonas para obter temperatura controlada. Estas zonas podem ser utilizadas para criar perfis de temperatura ao longo do forno.
Com oito zonas, isolamento espesso e enrolamento altamente simétrico dos elementos de aquecimento em todo o forno AZ é possível obter uma uniformidade melhor do que ± 5°C. Uma vantagem importante das oito zonas controladas individualmente é a extensão do comprimento uniforme no interior do forno. Além disso, o perfil de temperatura pode ser controlado com precisão para aumentos lineares, picos, ou outros perfis definidos pelo utilizador.
Um processo adequado para o forno tubular AZ é a deposição de vapor químico, uma vez que pode ser estabelecida uma gradação de temperatura no forno para evaporação do material precursor na zona final de alta temperatura e sublimação do vapor no substrato na zona final de temperatura mais fria. Todas as zonas são individualmente controladas e monitorizadas com termopares.
Características:
- Construção semelhante aos fornos tubulares FHA/FHC;
- Controlo de oito zonas para perfis de aquecimento variáveis;
- Gradaão, aumento/diminuição linear, etc. de temperatura ao longo do aquecimento;
- Distribuição uniforme alargada da temperatura;
- Curtas taxas de aquecimento e arrefecimento;
- Funcionamento automático;
- Registo de dados para gestão da qualidade;
- Retransmissão do setpoint.