Tube furnace with eight zones ‑ AZ

O AZ é um forno tubular de oito zonas para obter temperatura controlada. Estas zonas podem ser utilizadas para criar perfis de temperatura ao longo do forno.

Com oito zonas, isolamento espesso e enrolamento altamente simétrico dos elementos de aquecimento em todo o forno AZ é possível obter uma uniformidade melhor do que ± 5°C. Uma vantagem importante das oito zonas controladas individualmente é a extensão do comprimento uniforme no interior do forno. Além disso, o perfil de temperatura pode ser controlado com precisão para aumentos lineares, picos, ou outros perfis definidos pelo utilizador.

Um processo adequado para o forno tubular AZ é a deposição de vapor químico, uma vez que pode ser estabelecida uma gradação de temperatura no forno para evaporação do material precursor na zona final de alta temperatura e sublimação do vapor no substrato na zona final de temperatura mais fria. Todas as zonas são individualmente controladas e monitorizadas com termopares.

Características:

  • Construção semelhante aos fornos tubulares FHA/FHC;
  • Controlo de oito zonas para perfis de aquecimento variáveis;
  • Gradaão, aumento/diminuição linear, etc. de temperatura ao longo do aquecimento;
  • Distribuição uniforme alargada da temperatura;
  • Curtas taxas de aquecimento e arrefecimento;
  • Funcionamento automático;
  • Registo de dados para gestão da qualidade;
  • Retransmissão do setpoint.