ThermoFisher Cientific | Phenom ProX Desktop SEM para o desenvolvimento de materiais

A Graphite Machining Services & Innovations (GMSI) fornece produtos e apoio para as indústrias de semicondutores e produtores de LEDs. Os colaboradores da GMSI não são microscopistas, mas utilizam diariamente o microscópio eletrónico de varrimento Phenom ProX Desktop (SEM) para investigação e desenvolvimento de materiais avançados.

O Phenom ProX Desktop SEM, com espectroscopia de raios-X (EDS) beneficia o controlo de qualidade de processos e produtos. A aquisição de dados em tempo real combinada com capacidades de análise elementar fornece dados 8x mais rápido do que outros microscópios e já provou ser crítico para os recentes desenvolvimentos e melhorias dos produtos.

 

Do outsourcing ao insourcing

Há alguns anos, a GMSI estava a subcontratar todo o trabalho SEM o que implicava tempos de espera na obtenção de resultados e recursos, já que as amostras tinham de ser enviadas para testes, impossibilitando a resultados imediatos.

Há cerca de 4 anos, a GMSI adquiriu o Phenom ProX Desktop SEM. De repente, as melhorias do processo podiam ser feitas de forma mais célere, sem tempo de espera pelos resultados. A GMSI utiliza processos de deposição química de vapor para produzir películas de SiC em grafite para as indústrias de semicondutores e LED. O Phenom Desktop SEM é utilizado diariamente para investigação e garantia de qualidade dos processos e produtos.

 

Vantagens da utilização de um Phenom Desktop SEM

O equipamento é utilizado para medir a espessura do filme e morfologia da superfície como função dos parâmetros de processamento. Os dados adquiridos fornecem feedback imediato sobre a película de SiC e a sua difusão na grafite bem como a estrutura cristalina das superfícies. Para a GMSI, a capacidade de fazer microscopia correlativa com a câmara integrada é outro benefício importante do Phenom Desktop SEM. A navegação ótica é sincronizada com a imagem de microscópio eletrónico para mostrar onde se encontram os defeitos, permitindo uma rápida investigação de áreas específicas de interesse.

 

Mudanças para acelerar o I&D

A GMSI trocou o seu anterior Phenom Desktop SEM por um Thermo Fisher Phenom ProX Desktop SEM com EDS. A maior capacidade de magnificação fornece uma imagem completa de cada passo do processo. A análise elementar de EDS mostra a composição elementar dos filmes, permitindo à GMSI definir os parâmetros de deposição para uma estequiometria ótima. O mais recente lançamento do produto GMSI chegou ao mercado 8x mais rápido do que o esperado devido à aquisição de dados em tempo real e à análise elementar obtidos através do Phenom ProX Desktop SEM.

Fonte: ThermoFisher Cientific

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